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半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域初創(chuàng)企業(yè)精電光科（泉州）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（簡(jiǎn)稱 “精電光科”）近日透露，公司已完成數(shù)千萬(wàn)元Pre-A輪融資，千乘資本領(lǐng)投，元禾原點(diǎn)，融玥投資跟投。

精電光科由原國(guó)內(nèi)知名電子顯微鏡企業(yè)聚束科技的CEO何偉領(lǐng)銜創(chuàng)立,核心團(tuán)隊(duì)來(lái)自于HMI和聚束科技，具有豐富的電子束裝備研發(fā)經(jīng)驗(yàn)。

公司創(chuàng)建以來(lái)，進(jìn)一步匯聚海內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備資深專家，成為專注于電子束曝光機(jī)等先進(jìn)制程半導(dǎo)體設(shè)備的自主研發(fā)與生產(chǎn)的高科技企業(yè)。

電子束曝光機(jī)憑借其超高分辨率和無(wú)需掩模版的直寫(xiě)優(yōu)勢(shì)，是集成電路制造中納米級(jí)圖形化的關(guān)鍵裝備，廣泛應(yīng)用于前沿工藝研發(fā)、第三代半導(dǎo)體、先進(jìn)封裝、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）及光子芯片等高端領(lǐng)域。但由于其涉及多學(xué)科尖端技術(shù)融合，長(zhǎng)期被國(guó)外公司壟斷，實(shí)現(xiàn)該技術(shù)的自主可控對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的安全與升級(jí)具有至關(guān)重要的戰(zhàn)略意義。

千乘資本多年來(lái)重點(diǎn)圍繞工業(yè)科技進(jìn)行布局。千乘資本投資團(tuán)隊(duì)認(rèn)為，半導(dǎo)體裝備國(guó)產(chǎn)化是產(chǎn)業(yè)核心趨勢(shì)，精電光科團(tuán)隊(duì)兼具技術(shù)前瞻性與執(zhí)行力，其產(chǎn)品布局直擊行業(yè)痛點(diǎn)，非常看好公司成為細(xì)分領(lǐng)域領(lǐng)軍者。

元禾原點(diǎn)投資團(tuán)隊(duì)認(rèn)為，電子束曝光設(shè)備在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈條中處于非常核心的位置，技術(shù)難度高且急需國(guó)產(chǎn)化，精電光科團(tuán)隊(duì)已在電子束領(lǐng)域攻堅(jiān)近二十年，工程化經(jīng)驗(yàn)豐富，并持續(xù)保持著積極的開(kāi)拓精神，元禾原點(diǎn)非常看好精電光科在該細(xì)分領(lǐng)域后續(xù)完成突破性的發(fā)展，補(bǔ)強(qiáng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。

融玥投資項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)認(rèn)為，EBL是突破光學(xué)衍射極限、實(shí)現(xiàn)納米級(jí)乃至原子級(jí)加工精度的關(guān)鍵技術(shù)，是尖端芯片研發(fā)、量子器件和前沿材料制造中無(wú)法繞開(kāi)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)，后續(xù)市場(chǎng)需求會(huì)隨著半導(dǎo)體技術(shù)走向物理極限而持續(xù)走強(qiáng)。